光學高解析系列垂直平台​
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• 壓電驅動
• 1奈米解析度
• 150克負載
• 10毫米行程
• 型號：PST8E110A

機械特性

最大負載	150 克
最大軸向負載	150 克
導引形式	交叉滾柱滑軌
​​俯仰角	​±200 µrad
偏擺角	​±100 µrad

運動特性

最高速度	10 mm/s	​10 mm/s
編碼器	開迴路	閉迴路
編碼器解析度	N/A	1 nm
最小步進量	N/A	15 nm
雙向重覆定位精度	N/A	50 nm

選配功能

材質	陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
真空	大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)​
原點功能	有
行程限制功能	有

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• 10型：行程 10 mm

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PST8E110A

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