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電感式​系列

使用電感式感測元件作為位置資訊回饋核心。在提供實用地定位解析度的同時具備更加緊緻的體積, 更優異的環境耐受性以及極具競爭力的價格。本產品適用於各種需要精密定位、微奈米級運動操控的應用並可使用於一般真空環境中。
光學式系列
Picture
線性平台
​電感式的壓電線性平台提供4種不同的運動行程,分別為20、28、36以及44毫米(mm),​最大負載為4公斤(kg)並具備37奈米(nm)之解析度。
標準系列
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垂直平台
電感式的壓電垂直平台提供10毫米(mm)的運動行程,​最大負載為150克(g)並具備37奈米(nm)之解析度。
標準系列
Picture
緊湊型XY平台
敬請期待
標準系列

Picture
壓電控制器
電感式壓電控制器僅可與電感式壓電平台搭配使用,可提供1至3軸之控制介面,並使用D-sub (DB9)作為訊號溝通接口。

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