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緊湊型XY平台

標準線性系列
標準垂直系列
Picture
電感緊湊型XY平台​
​
  • 壓電驅動​
  • 37奈米解析度
  • 4公斤負載
  • 40毫米行程
  • ​型號:

機械特性

最大負載
4公斤
最大軸向負載
150 克
導引形式
交叉滾柱滑軌
​​​俯仰角
​±150 µrad
​偏擺角
​±150 µrad

運動特性

最高速度
10 mm/s
​10 mm/s
 編碼器
開迴路
閉迴路
編碼器解析度
N/A
37 nm
最小步進量
N/A
150 nm
雙向重覆定位精度
N/A
300 nm

選配功能

材質
陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
真空
大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)​
原點功能
有
行程限制功能
有

檔案下載

  • 40型:行程:40 mm
<
>
Picture
PST8E510A
Picture
工程圖

下載

圖片
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