電感緊湊型XY平台​
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• 壓電驅動​
• 37奈米解析度
• 4公斤負載
• 40毫米行程
• ​型號：

機械特性

最大負載	4公斤
最大軸向負載	150 克
導引形式	交叉滾柱滑軌
​​​俯仰角	​±150 µrad
​偏擺角	​±150 µrad

運動特性

最高速度	10 mm/s	​10 mm/s
編碼器	開迴路	閉迴路
編碼器解析度	N/A	37 nm
最小步進量	N/A	150 nm
雙向重覆定位精度	N/A	300 nm

選配功能

材質	陽極鋁合金(標配) ; 不鏽鋼
真空	大氣(標配) ; 真空 (1E-6 mbar)​
原點功能	有
行程限制功能	有

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• 40型：行程：40 mm

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PST8E510A

工程圖

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